使用する工程はエッチング工程、CVD工程、拡散工程などです。
種類 O-ring, Chamber seal, Valve seal, Gate seal, Fittings , Lid seal ,…,etc.
DUPRA™ パーフロシール材フッ素ゴムOリングはダイキン工業株式会社製品です、原料から最終包装までの全工程を“スーパークリーンコンセプト”に基づいて生産・提供する半導体装置向けパーフロシール材 。
DUPRAの種類と用途別
セラミックスの部品
パーフロシール材フッ素ゴムリング
真空チャック
再生製品
セラミックス
クォーツその他の加工品
超硬合金製高精度薄刃
蛍光体プレート フォスセラ®